OX400-5-N-R-E-H低浓度氧化锆氧分析仪

时间： 2013-12-26　

OX400-5-N-R-E-H低浓度氧化锆氧分析仪

OX400低浓度氧化锆氧分析仪：

OX400-5-N-R-E-H、OX400-5-N-T-E-H、OX400-5-A-T-E-H、OX400-3-A-T-E-H

横河电机最新推出的氧分析仪OX400，是公司在该技术的长期经验积累和优秀业绩基础上研发出来的。
低浓度氧化锆氧分析仪OX400的氧化锆传感器中采用了新型薄膜沉积专利技术，在氧化锆元素和铂层间建立了分子联接。这样不仅预防剥离，还可以减小传感器尺寸，确保高速响应和长寿命。
低浓度氧化锆氧分析仪OX400可用于控制和监视各种半导体应用，并控制环境，空气泄漏入惰性气体及其他过程。

用于半导体扩散炉和烘干炉，以及LCD制造工艺中的氧气浓度控制

用于控制锡焊炉气流和回流炉中气体的氧气浓度，以及电子制造中使用的手套箱和气体生产工艺中氧气浓度的测量

测量氧气浓度，防止粉尘运输中粉尘爆炸

特性：使用寿命长，响应速度快

由于使用了横河电机的新型薄膜沉积专利技术，传感器的寿命周期提高了三倍

圆柱形传感器设计便于置换被测气体，确保高速响应

高性能和高可靠性
即使在低氧浓度下，仍具有极高的精度和线性

在不同应用中，可选择泵式或抽提采样方式

内置功能和多种自诊断功能
自带多选择器，自动量程，特定量程以及泵开/关功能

提供多种自诊断功能，以检测故障，如加热器温度错误，温度传感器断偶和传感器电阻值错误

出众的维护性
可现场更换传感器

小型轻量，易于安装

规格：

测量对象	惰性气体中的氧气浓度 （易燃性气体、二氧化硅、腐蚀性气体或液体（包括水蒸气）除外）
测量系统	氧化锆系统
采样方法	泵式，抽提式等
样气条件	流速: 200 ± 25ml/min（仅用于传感器） 温度: 0~50℃（无结露） 湿度: 无结露 压力: 0~300PaG 最大容许压力: 30kPaG
测量量程	0-10ppm O2至0-100vol% O2
输出量程	自动: 0-10ppm，0-100ppm，0-1000ppm，0-1%，0-10%，0-100%（默认）其他: 可设为0- 0ppm，0- 00ppm，0-000 ppm，0- %，0- 0%，0-100%，1~9的整数 固定: 设为0-10ppm，0-100ppm，0-1000ppm，0-1%，0-10%，或0-100% 部分: 可设置下限值或上限值
模拟输出	2路输出， 一次: 4～20mA DC（最大负载电阻: 550Ω） 二次: 可选为0~1，0~5，0~10V DC（负载电阻: 10kΩ或更大）
接点输出	报警输出2点: 错误接点，O2浓度报警接点 指定量程范围输出1点: 接点输出 多选择器（选配件）: 流路切换接点输出和测量中流路信息接点输出
接点输入	1点: 采样气体吸入泵的远程ON/OFF
自诊断	错误（故障）: 传感器错误，加热器温度错误，温度传感器断开，设备温度错误，CPU错误，FAN停止 报警（警告）: 加热器不稳定，传感器错误，电动势异常，非对称电压错误错误，标定错误，传感器电阻错误，O2浓度上/下限，超限
串口通信	RS-232，38400 bps
标定方法	（1）3点: 10ppm，1000ppm，空气，（2）2点: 可设定为零点气和量程气标定，（3）1点，（4）空气标定
暖机时间	20分以内
电源	100 - 120V AC/220 - 240V AC，50/60Hz
功耗	100～120V AC，200VA 最大，220～240V AC，400 VA 最大
尺寸	213 （W） x 132 （H） x 约375 （D） mm
质量	约5kg
管线连接	气体入口: Rc1/4或1/4NPT内螺纹 气体出口: Rc1/4或1/4NPT内螺纹
环境条件	安装条件: 室内，盘装或壁装，非易燃区域 环境温度: 0～40℃，无结露 环境湿度: 5～85%RH 储存温度: -5～50℃
符合的安全标准 和EMC标准	安全标准: 61010-1:2001 EMC: EN 61326-1 Class A，Table 2（用于工业现场） EN 61326-2-3，EN 61000-3-2，EN 61000-3-3

特性：

重复性	±1%F.S.（10，100，1000 ppm，1%，10%或100%）
线性	±2%F.S. ±3%F.S.（0~100ppm或更低）
响应时间	90%响应 10秒内（0~1%或更高） 30秒内（小于0~1%）
漂移	±2%F.S./周

(同系列产品：ZR202G一体型氧化锆氧分析仪、ZR22G/ZR402G分体型氧化锆氧分析仪、ZR22S/ZR202S防爆型氧化锆氧分析仪、AV550G氧化锆氧分析仪平均转换器、OX400低浓度氧化锆氧分析仪、MG8G磁氧分析仪(通用型)、MG8E磁氧分析仪(防爆型)、OX100限流型氧分析仪、OX102限流型氧分析仪）