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OX102-12E/S限流型氧分析仪
时间: 2013-12-26
OX102-12E/S限流型氧分析仪
OX102氧分析仪使用一台仪表即可以ppm或百分比为单位测量氧气浓度,适用于充氮回流炉及半导体工厂的ppm级测量。
因为限流原理,直插式氧化锆传感器被设计得小型紧凑,但却同样性能卓越。传感器为直插式安装。
在例如充氮回流炉等应用中,当待测气体中含有少量挥发有机溶剂气体时,需要采用可选采样单元。
特性
设备简单,可测量从1000ppm到25%的氧气浓度
简便的一键标定
自诊断功能确保高可靠性
一键更换传感器
小型设计
*OX100限流型氧分析仪选型表:
型号 |
后缀代码 |
选择代码 |
说明 |
|||
|
|
限流型氧分析仪(通用型) |
||||
应用程序 |
-1 |
|
氧分析仪(不能用活性炭过滤器)* 1 |
|||
-2 |
|
为(氮气)回流炉 |
||||
-3 |
|
监测氧气不足与低报警,测量范围0 - 25 % |
||||
测量范围 |
1 |
|
0-1000 ppm / 0-25% O2 |
|||
供电电源 |
5 |
|
100 V AC ±10%, 50/60 Hz |
|||
传感器 |
1 |
|
传感器。线+延伸2M |
|||
N |
|
无传感器组件
|
||||
手册 |
J |
日文 |
||||
E |
英文 |
* 1测量范围在1500至4500百万分之一,使用OX102。
*OX102限流型氧分析仪选型表:
型号 |
后缀代码 |
选择代码 |
说明 |
||
|
|
限流型氧分析仪 |
|||
测量范围 |
-1 |
|
0-100/1000/10,000 ppm / 0-25% O2 |
||
传感器 |
1 |
|
现有的传感器组件(5米。1+电缆4米) |
||
2 |
|
现有的传感器组件(10米。1+电缆9米) |
|||
3 |
|
现有的传感器组件(30米。1+电缆29米) |
|||
N |
|
无传感器组件 |
|||
手册 |
J |
|
日文 |
||
E |
|
英文 |
|||
选择代码 |
/S |
金属传感器支架 |
|||
/J |
塑料树脂传感器支架 |
*可选配件:
K9424GA Sampling unit
K9424JA Calibration kit: Six 1-liter gas cylinder , gas outlet cock (with flow adjuster)
K9424JB Calibration kit: Six 1-liter gas cylinder , gas outlet cock (without flow adjuster)
K9346WM Activated charcoal element, five per pack: for sampling unit
K9424JC Gas outlet cock (with flow adjuster): qty. one
K9424JP Gas outlet cock (without flow adjuster): qty. one
K9424BA Standard gas cylinder ( 1000 ppm O2/N2 ) : qty. six
K9424CA Sensor assy. cable 3 m for OX100 only
B9877BA Extension cable, 2 m: for OX100 only
K9424LA Bracketfor mounting OX100, two per set.
K9424LB Sensor assy. One per set : for OX102 only
K9424LC Extension cable, 4 m: for OX102 only
K9424LD Extension cable, 9 m: for OX102 only
K9424DB Extension cable, 29 m: for OX102 only
L9811LA Sensorholder (metal) for OX100 or OX102
K9424JD Sensor holder (plastic) for OX100 or OX102
规格
测量对象 | 测量N2或混合气体中的O2;不能包含硅蒸汽、可燃气体或有机溶剂 | |||
测量原理 | 氧化锆限流法 | |||
测量量程 | 0~25% | |||
采样方法 | 自然扩散系统。如果所采样气体包括有机溶剂,使用采样单元 | |||
测量气体条件 | 大气压,工作温度: 0~70℃,气体流速最高1m/s | |||
输出信号: 2路输出 |
4-20mA DC自动/手动切换模式,1~5V DC固定(0-100ppm/0-1000ppm/0-10000ppm/0-25%) | |||
输出量程 | 0-100ppm/0-1000ppm/0-10000ppm/0-25%,自动/固定切换模式 | |||
接点输出 | 2接点输出 | |||
标定 |
a.大气一点标定: 15~25% b. 100ppm一点标定: 80~120ppm c. 1000ppm一点标定: 900~1100ppm d. 10000ppm一点标定: 8500~9500ppm e. 完全标定: 使用空气,按照20,100,500,1000,10000ppm的顺序 |
|||
扩展电缆 | 4m,9m,29m | |||
电源 | 100~240V AC,50/60Hz,约15W |
性能
重复性 |
±15ppm O2(20~100ppm量程) ±25ppm O2(100~1000ppm量程) 读数的±0.3%(1000~5000ppm量程) 读数的±7.5%(5000~10000ppm量程) ±0.25% O2(1~25%量程) |
测量原理
氧化锆固体电解质中有电流通过会使氧气从阴极向阳极移动(起氧气泵的作用)。如果阴极处的氧气流受到氧化铝基板的限制,就会形成一个电流饱和区,无论电压如何增加,电流都维持相同值。这个电流被称为临界电流。在一定电压范围内,电流与氧气浓度成正比。
应用
充氮回流炉
半导体制造业环境监视
ppm级O2测量
监视空气中分离的N2,Ar纯度
供氧不足监视
- ZR202S-C-200氧化锆氧分析仪
- |ZR202S-C-150氧化锆氧分析仪
- ZR202S-C-100氧化锆氧分析仪
- ZR202S-C-070氧化锆氧分析仪
- ZR202S-C-040氧化锆氧分析仪
- ZR22S-C-150氧化锆探头
- ZR202S-B-100氧化锆氧分析仪
- ZR202S-B-070氧化锆氧分析仪
- ZR202S-B-150氧化锆氧分析仪
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